Verfahren zum Trennen eines Halbleitersubstratkörpers von einer Funktionsschicht Darauf

EP3352207 Art B1 30. August 2023

Anmelder: Hu, Bing 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3352207
Aktenzeichen
EP16845712
Anmeldetag
14. September 2016
Veröffentlichung
30. August 2023
Erteilung
30. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hu, Bing
Land
🇨🇳 China
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