Optisches Element, Kammer und Lichtquellenvorrichtung

EP3358377 Art A1 8. August 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3358377
Aktenzeichen: EP16851404
Anmeldetag: 26. September 2016
Veröffentlichung: 8. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/034G02B1/115G02B1/14// H01S3/0971H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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