Alkyl-Alkoxysilacyclische Verbindungen und Verfahren zur Ablagerung von Filmen damit

EP3358602 Art A1 8. August 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3358602
Aktenzeichen: EP18164327
Anmeldetag: 16. Juni 2015
Veröffentlichung: 8. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/30C23C16/56C07F7/18H01B3/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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