Verfahren zur Abscheidung eines Konformen Metallischen oder Metalloiden Siliciumnitridfilms

EP3359705 Art B1 8. Dezember 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC, Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3359705
Aktenzeichen: EP16784663
Anmeldetag: 6. Oktober 2016
Veröffentlichung: 8. Dezember 2021
Erteilung: 8. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/455C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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