Verfahren zur Abscheidung eines Konformen Metallischen oder Metalloiden Siliciumnitridfilms

EP3359705 Art B1 8. Dezember 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC, Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3359705
Aktenzeichen: EP16784663
Anmeldetag: 6. Oktober 2016
Veröffentlichung: 8. Dezember 2021
Erteilung: 8. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/455C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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