Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung für Übertragungselektronen
EP3364445
Art B1
4. November 2020
Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3364445
- Aktenzeichen
- EP18157099
- Anmeldetag
- 16. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 4. November 2020
- Erteilung
- 4. November 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/305H01J37/28H01J37/20
Abstract
The invention is related to a method and apparatus for transmission electron microscopy wherein a TEM specimen (1,12) is subjected to at least one thinning step by scratching at least an area of the specimen with an SPM probe (4), and wherein the thinned area is subjected to an SPM acquisition step, using the same SPM probe or another probe.
Anmelder
- Firma
- IMEC vzw
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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