Verfahren zum Ausrichten eines Beugenden Optischen Systems und Diffraktives Optisches Element
EP3367165
Art A1
29. August 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3367165
- Aktenzeichen
- EP17157671
- Anmeldetag
- 23. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 29. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01B11/00G02B5/18G11B7/1353
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte