Optische Anordnung mit einem Schutzelement und Optische Anordnung damit

EP3368948 Art B1 18. September 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3368948
Aktenzeichen: EP16788086
Anmeldetag: 26. Oktober 2016
Veröffentlichung: 18. September 2019
Erteilung: 18. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/62G02B5/09G02B26/08G02B5/08G03F1/64G02B1/14G02B1/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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