Verfahren und Vorrichtung zum Räumlichen Messen Nanoskaliger Strukturen

EP3372990 Art B1 24. März 2021

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3372990
Aktenzeichen: EP18157683
Anmeldetag: 20. Februar 2018
Veröffentlichung: 24. März 2021
Erteilung: 24. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G02B21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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