Rasterelektronenmikroskop

EP3373321 Art A1 12. September 2018

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3373321
Aktenzeichen: EP18159790
Anmeldetag: 2. März 2018
Veröffentlichung: 12. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/28H01J37/305H01J37/02H01J37/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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