Messsubstrat und Messverfahren
EP3380894
Art A1
3. Oktober 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3380894
- Aktenzeichen
- EP16798789
- Anmeldetag
- 23. November 2016
- Veröffentlichung
- 3. Oktober 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H10P72/00// H10P74/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Verhoeven, Johannus Theodorus Maria
Veldhoven, Niederlande
12
Patente gesamt
6
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven