Vorrichtung und Verfahren zur Verarbeitung von Basismaterial
EP3381848
Art B1
17. Juni 2020
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3381848
- Aktenzeichen
- EP18150221
- Anmeldetag
- 3. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2020
- Erteilung
- 17. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65H23/02B65H23/032B65H27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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