Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen
EP3384279
Art A1
10. Oktober 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Hermes Microvision Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3384279
- Aktenzeichen
- EP16871412
- Anmeldetag
- 30. November 2016
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/225H01J37/10H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Hermes Microvision Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven