Steuerung der Amplitude und Phase von Beugungsordnungen anhand von Polarisationszielen und Polarisierter Beleuchtung
EP3387371
Art B1
19. April 2023
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3387371
- Aktenzeichen
- EP16873498
- Anmeldetag
- 1. Juni 2016
- Veröffentlichung
- 19. April 2023
- Erteilung
- 19. April 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01B11/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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