System und Verfahren zur Überwachung eines Oberflächenprofils und Dickenmessung in Dünnschichten

EP3387482 Art B1 16. November 2022

Anmelder: Secretary, Department of Electronics and Information Technology (Deity), Indian Institute of Technology, Guwahati 🇮🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3387482
Aktenzeichen
EP16872494
Anmeldetag
18. Juli 2016
Veröffentlichung
16. November 2022
Erteilung
16. November 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G02B27/00C23C14/54G01B11/06G01B11/00G01B11/24C23C14/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Secretary, Department of Electronics and Information Technology (Deity)
Indian Institute of Technology, Guwahati
Land
🇮🇳 Indien

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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