Pellikel und Pellikelanordnung
EP3391139
Art B1
16. Februar 2022
Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3391139
- Aktenzeichen
- EP16806058
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2022
- Erteilung
- 16. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62G03F7/20G03F1/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Filip, Diana
Veldhoven, Niederlande
14
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven