Verfahren zur Herstellung einer Hohlen Mems-Struktur

EP3393966 Art B1 27. Oktober 2021

Anmelder: Danmarks Tekniske Universitet 🇩🇰

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3393966
Aktenzeichen: EP16766971
Anmeldetag: 19. September 2016
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Erteilung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: B81C1/00H01F17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Danmarks Tekniske Universitet
Land: 🇩🇰 Dänemark

🇩🇰 Danmarks Tekniske Universitet

Dänische Technische Universität mit Sitz in Kongens Lyngby (DK), eine der führenden Ingenieurs- und Naturwissenschaftshochschulen des Landes. Die Patente stammen aus universitärer Forschung in Technik und Naturwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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