Zusammensetzungen und Verfahren mit Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigem Film

EP3394315 Art A1 31. Oktober 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3394315
Aktenzeichen: EP16880004
Anmeldetag: 21. Dezember 2016
Veröffentlichung: 31. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/34C23C16/50C23C16/04C07F7/18C07F7/10C23C16/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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