Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung einer Rückseite eines Substrats
EP3396707
Art B1
3. November 2021
Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3396707
- Aktenzeichen
- EP17168788
- Anmeldetag
- 28. April 2017
- Veröffentlichung
- 3. November 2021
- Erteilung
- 3. November 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ebara Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Wagner & Geyer
München, Deutschland
Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.
12.074
Patente gesamt
6
Patentanwälte
1
Standorte