Hybride Inspektoren

EP3397952 Art A1 7. November 2018

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3397952
Aktenzeichen
EP16882782
Anmeldetag
30. Dezember 2016
Veröffentlichung
7. November 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G06N3/045G06N3/0475G06N3/006G06N3/0464G06N3/047G06N3/0895G06N3/09G01N23/2251G01N21/95G01N21/956G03F7/00G06T7/00H10P74/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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