Kontrol-System und Verfahren für eine Lithographie-Vorrichtung

EP3398271 Art B1 31. Januar 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3398271
Aktenzeichen: EP16820289
Anmeldetag: 23. Dezember 2016
Veröffentlichung: 31. Januar 2024
Erteilung: 31. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H04J3/06H04L7/00H01J37/317H01J37/302G06F1/14G06F13/40G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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