Verfahren zur Reinigung eines Wachstumsofens für Sic-Einkristall

EP3399076 Art B1 11. Mai 2022

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3399076
Aktenzeichen: EP16881725
Anmeldetag: 26. Dezember 2016
Veröffentlichung: 11. Mai 2022
Erteilung: 11. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/36C23C14/00C23C16/44C23C14/56C30B23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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