Selektive Abscheidung Dielektrischer Materialien

EP3399544 Art B1 13. April 2022

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3399544
Aktenzeichen: EP17169473
Anmeldetag: 4. Mai 2017
Veröffentlichung: 13. April 2022
Erteilung: 13. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316H01L21/768// H01L21/306H01L21/3105H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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