Turbomolekularpumpe und Verfahren zur Beschichtung von Bauteilen einer Turbomolekularpumpe

EP3400389 Art B1 4. März 2026

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Components & Solutions GmbH, Movatec GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3400389
Aktenzeichen
EP17728516
Anmeldetag
1. Juni 2017
Veröffentlichung
4. März 2026
Erteilung
4. März 2026
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04B37/02F04D29/02C23C14/35
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Pfeiffer Vacuum Components & Solutions GmbH
Movatec GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

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