Elektronenstrahlvorrichtung umfassend ein Austastsystem mit Verbesserter Wärmeverteilung
EP3400608
Art B1
28. Dezember 2022
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3400608
- Aktenzeichen
- EP17736363
- Anmeldetag
- 5. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2022
- Erteilung
- 28. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/147H01J37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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