Metrologie-Überlagerungsmarke und Verfahren
EP3403142
Art B1
9. November 2022
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3403142
- Aktenzeichen
- EP17738757
- Anmeldetag
- 6. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 9. November 2022
- Erteilung
- 9. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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