Verfahren und Struktur zur Reduzierung von Substratbrüchigkeit
Anmelder: Massachusetts Institute of Technology, Nanyang Technological University, National University of Singapore 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3405971
- Aktenzeichen
- EP17741743
- Anmeldetag
- 19. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 28. November 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/31
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Massachusetts Institute of Technology
Nanyang Technological University
National University of Singapore - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
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