Substratkantenbearbeitung mit einem Haltering

EP3406402 Art B1 30. Juni 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3406402
Aktenzeichen
EP18181304
Anmeldetag
5. August 2011
Veröffentlichung
30. Juni 2021
Erteilung
30. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/32B24B41/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Kanzlei
Fish & Richardson P.C München, Deutschland

Fish & Richardson wurde 1878 in Boston gegründet, eine der ältesten IP-Kanzleien der USA, vertrat einst Alexander Graham Bell und Thomas Edison. Münchner Standort direkt am Sitz von EPA, Deutschem Patent- und Markenamt sowie Bundespatentgericht, auch vor dem Einheitlichen Patentgericht.

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