Codierervorrichtung, Ansteuerungsvorrichtung, Bühnenvorrichtung und Robotervorrichtung

EP3407025 Art B1 15. November 2023

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3407025
Aktenzeichen: EP17741218
Anmeldetag: 6. Januar 2017
Veröffentlichung: 15. November 2023
Erteilung: 15. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01D5/244G01D5/14G01D5/347G01D5/56G01D5/58B25J19/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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