Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen
EP3408829
Art B1
25. Oktober 2023
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Hermes Microvision Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3408829
- Aktenzeichen
- EP17744929
- Anmeldetag
- 27. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 25. Oktober 2023
- Erteilung
- 25. Oktober 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/2251H01J37/28H01J37/05H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Hermes Microvision Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven