Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage der Leistung eines Messverfahrens, Messverfahren und Vorrichtung
EP3410211
Art A1
5. Dezember 2018
Anmelder: Stichting VU, Universiteit van Amsterdam, Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3410211
- Aktenzeichen
- EP17173786
- Anmeldetag
- 31. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 5. Dezember 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01J9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Stichting VU
Universiteit van Amsterdam
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
ASML Netherlands B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte