Verzerrungsmessverfahren für Elektronenmikroskopische Bildgebung, Elektronenmikroskop, Verzerrungsmessprobe und Verfahren zur Herstellung einer Verzerrungsmessprobe

EP3410461 Art B1 10. November 2021

Anmelder: JEOL LTD., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3410461
Aktenzeichen: EP18174280
Anmeldetag: 25. Mai 2018
Veröffentlichung: 10. November 2021
Erteilung: 10. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

520 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von