Verfahren zum Ermitteln und Regeln eines Durchmessers eines Einkristalls Beim Ziehen des Einkristalls

EP3411515 Art B1 13. Januar 2021

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3411515
Aktenzeichen
EP17701854
Anmeldetag
24. Januar 2017
Veröffentlichung
13. Januar 2021
Erteilung
13. Januar 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C30B15/20C30B15/30C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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