System und Verfahren für Hyperspektrale Bildgebungsmetrologie
EP3411681
Art A1
12. Dezember 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3411681
- Aktenzeichen
- EP17747951
- Anmeldetag
- 27. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 12. Dezember 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J3/44G01N21/95G01J3/02G01J3/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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