Verfahren und System zur Optischen Dreidimensionalen Topographiemessung
EP3411695
Art B1
26. Januar 2022
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3411695
- Aktenzeichen
- EP16889639
- Anmeldetag
- 4. November 2016
- Veröffentlichung
- 26. Januar 2022
- Erteilung
- 26. Januar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/956G01N21/39G01B11/25
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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