Automatische Schräglagenkorrektur Mithilfe von Designdateien oder Inspektionsbildern
EP3411900
Art B1
4. März 2026
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3411900
- Aktenzeichen
- EP17748025
- Anmeldetag
- 31. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 4. März 2026
- Erteilung
- 4. März 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06T3/608G06T7/33G06T7/00G01N23/2251H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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