Fehlerstrombegrenzer mit Selbstprüfender Leistungselektronik und Zündschaltung

EP3417521 Art A1 26. Dezember 2018

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3417521
Aktenzeichen
EP17753605
Anmeldetag
6. Januar 2017
Veröffentlichung
26. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H02H9/02H02H1/00G01R19/175// H02H3/05
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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