Defektdetektionsvorrichtung, Defektdetektionsverfahren und Programm

EP3418726 Art A1 26. Dezember 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3418726
Aktenzeichen: EP17752875
Anmeldetag: 18. Januar 2017
Veröffentlichung: 26. Dezember 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/88G06T1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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