Analyse der Grundursachen von Prozessabweichungen in der Scatterometrie
EP3420327
Art A1
2. Januar 2019
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3420327
- Aktenzeichen
- EP16891881
- Anmeldetag
- 1. November 2016
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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