A/m/x-Material-Herstellungsprozess mit Alkylamin

EP3427290 Art B1 4. August 2021

Anmelder: Oxford University Innovation Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3427290
Aktenzeichen
EP17711270
Anmeldetag
8. März 2017
Veröffentlichung
4. August 2021
Erteilung
4. August 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/368H01L51/00H01L51/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Oxford University Innovation Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Oxford University Innovation

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