Vorrichtung zur Chemischen Dampfabscheidung und Verfahren zur Herstellung einer Anzeigevorrichtung unter Verwendung Derselben
Anmelder: Samsung Display Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3428312
- Aktenzeichen
- EP18177532
- Anmeldetag
- 13. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 13. März 2024
- Erteilung
- 13. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/505C23C16/509C23C16/34H01J37/32// H10K71/16
Abstract
A chemical vapor deposition apparatus includes a chamber, a susceptor supporting a substrate, a backing plate to which power is applied, a diffuser providing a deposition gas, and a first insulator. The first insulator may include a first portion covering a top surface of the backing plate, and a second portion assembled with the first portion and covering a sidewall of the backing plate.
Anmelder
- Firma
- Samsung Display Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
Südkoreanisches Tochterunternehmen der Samsung-Gruppe, das Displaypanels wie OLED- und LCD-Bildschirme für Smartphones, Fernseher und weitere Elektronikgeräte entwickelt und herstellt.
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