Herstellungsverfahren eines Mikro/nano-Filters auf einem Mikro/nano-Kanal oder einem Mikro/nano-Hohlraum in einem Siliziumsubstrat
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3428956
- Aktenzeichen
- EP18182597
- Anmeldetag
- 10. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 6. April 2022
- Erteilung
- 6. April 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02B81C1/00G03F7/00
Abstract
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un micro/nano-filtre sur un micro/nano-canal ou micro/nano-cavité présents dans une couche de silicium, ledit procédé comprenant une étape de réalisation d'une couche carbonée (4, 40, 400) en surface d'une couche de silicium (1), une étape de porosification (E5, E60, E700) du silicium et de la couche carbonée au niveau d'une zone cible afin d'obtenir une zone cible porosifiée (5, 50, 500) et une étape de nettoyage (E6, E70, E800) de ladite zone cible porosifiée pour retirer le silicium poreux de ladite zone cible et former au moins une cavité (6, 60, 600) fermée en surface par une membrane poreuse (10) carbonée.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
8.392 Patente in unserer Datenbank