Vorrichtung und Verfahren zur Zweidimensionalen Aktiven Trägerprofilierung von Halbleiterbauelementen

EP3432007 Art B1 26. Februar 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3432007
Aktenzeichen: EP17181780
Anmeldetag: 18. Juli 2017
Veröffentlichung: 26. Februar 2020
Erteilung: 26. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01R27/02G01Q60/30H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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