System und Verfahren zur Driftkompensation bei einem Elektronenstrahlbasierten Charakterisierungswerkzeug
EP3433873
Art A1
30. Januar 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3433873
- Aktenzeichen
- EP17770919
- Anmeldetag
- 20. März 2017
- Veröffentlichung
- 30. Januar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28// H01J37/147
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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