Verfahren zur Herstellung eines Einkristallinen Aluminiumnitridsubstrats

EP3434816 Art A1 30. Januar 2019

Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3434816
Aktenzeichen
EP17770273
Anmeldetag
22. März 2017
Veröffentlichung
30. Januar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/01C23C16/34C30B25/20H01L21/205C30B29/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokuyama Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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