Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe
EP3434905
Art B1
26. April 2023
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3434905
- Aktenzeichen
- EP17183117
- Anmeldetag
- 25. Juli 2017
- Veröffentlichung
- 26. April 2023
- Erteilung
- 26. April 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04C25/02F04C29/04F04D25/08F04D29/58F04C18/12
Abstract
Vakuumpumpe, insbesondere zur Erzeugung von Grob- und/oder Feinvakuum, mit zumindest einer Pumpenkomponente sowie einer Kühlvorrichtung zur konvektiven Kühlung der Pumpenkomponente mittels eines Kühlmediums, wobei die Kühlvorrichtung dazu eingerichtet ist, einen konvektiven Wärmeübergang zwischen der zu kühlenden Pumpenkomponente und dem Kühlmedium durch Anpassung eines Wärmeübergangskoeffizienten in Abhängigkeit und/oder zur Einhaltung eines Pumpenbetriebsparameters variabel zu verändern.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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