Vakuumpumpe
EP3438460
Art B1
20. März 2024
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3438460
- Aktenzeichen
- EP17185000
- Anmeldetag
- 4. August 2017
- Veröffentlichung
- 20. März 2024
- Erteilung
- 20. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/00
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe, mit zumindest einer Pumpstufe und mit einer Druckermittlungseinheit zur Bestimmung eines an einer Saugseite der Vakuumpumpe herrschenden Drucks, die eine Messeinrichtung umfasst, wobei ein Messabgriff der Messeinrichtung im Bereich der Pumpstufe oder stromabwärts der Pumpstufe vorgesehen ist.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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