Euv-Kollektor zur Verwendung in einer Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung

EP3440490 Art A1 13. Februar 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3440490
Aktenzeichen: EP17714716
Anmeldetag: 30. März 2017
Veröffentlichung: 13. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G02B19/00G02B5/18G03F7/20G02B27/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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