Dämpfungsfilter für Projektionsobjektiv, Projektionsobjektiv mit Dämpfungsfilter für Projektionsbelichtungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsvorrichtung mit Projektionsobjektiv

EP3440512 Art B1 29. April 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3440512
Aktenzeichen: EP17712995
Anmeldetag: 23. März 2017
Veröffentlichung: 29. April 2020
Erteilung: 29. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B27/00G02B5/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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