Aktiv Gekühltes Vakuumisolierventil

EP3443583 Art B1 9. August 2023

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3443583
Aktenzeichen: EP17782918
Anmeldetag: 10. April 2017
Veröffentlichung: 9. August 2023
Erteilung: 9. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: F16K1/46F16K3/06F16K31/122F16K41/10F16K49/00F16K51/02F16K1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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