Permanentmagnetteilchenstrahlvorrichtung und Verfahren mit einem Nichtmagnetmetallteil zur Abstimmbarkeit
EP3443822
Art B1
5. Juni 2024
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3443822
- Aktenzeichen
- EP17782880
- Anmeldetag
- 6. April 2017
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2024
- Erteilung
- 5. Juni 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H7/04H01F1/057H01J37/143H01J3/02H01J3/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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